1、光解
激光产生的激光可以通过光学系统的凝聚实现高能量。聚焦后，激光束可以在焦点附近产生数千度甚至数万的高温，从而使物体表面的附着物瞬间汽化或分解。
2、光剥离
物体表面的附着通过激光的作用被加热和膨胀。当物体表面的膨胀力大于基体与基体之间的膨胀力时，物体表面的附着物将脱离物体表面。
3、光振动
具有较高的频率和功率的激光冲击物体表面，在物体表面产生超声波，硬返回超声波表面的影响下，干扰波，产生高能量共振波，微小的灰尘破裂，破碎，从衬底的表面材料，当对象和激光束的吸收差异系数表面的附着，或加热后会产生有毒物质表面的附着情况等，可用于清洗方法。
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